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【產品概述】澤攸科技JS系列半自動臺階儀作為國產高精度表面測量設備的代表，憑借其創(chuàng)新的技術架構、靈活的應用場景及可靠的測量性能，在半導體制造、材料科學、微納技術等領域展現(xiàn)了顯著優(yōu)勢。JS系列臺階儀通過金剛石探針與樣品表面的接觸掃描，將微觀輪廓的垂直位移轉化為電信號，結合高靈敏度傳感器與信號處理算法，實現(xiàn)納米級精度的表面特征捕捉。其核心技術亮點在于超微壓力恒定控制系統(tǒng).
產品型號：JS100C/200C/300C 更新時間：2025-10-11訪 問 量：6179廠商性質：生產廠家產品詳情
澤攸科技臺階儀JS100C
產品介紹
澤攸科技半自動臺階儀JS100C是高精度測量設備，打破了國外技術壟斷，適用于半導體制造中的國產化進程。該設備采用一體花崗巖結構，確保測量的穩(wěn)定性與可靠性。配備兩個彩色攝像頭，可無畸變地觀察樣品和針尖，實現(xiàn)特征區(qū)域精確定位。JS100C具備厚度、粗糙度、翹曲度及薄膜應力測量功能，并支持3D掃描成像和多點掃描應用，廣泛應用于刻蝕、沉積、薄膜等領域。
刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量
薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測量
各式薄膜應力測量
3D掃描成像
計劃任務和多點掃描
應用領域
產品組成
突破三大核心技術
產品特色
關鍵技術指標
案例應用
18nm樣品
68um樣品
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