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0.5nm重復(fù)精度臺(tái)階儀, 進(jìn)口自動(dòng)臺(tái)階儀替代, 批量晶圓測(cè)試設(shè)備, 透明晶圓測(cè)量方案 澤攸科技JS2000C全自動(dòng)臺(tái)階儀——0.5nm超高精度晶圓量產(chǎn)檢測(cè)系統(tǒng)。集成EFEM自動(dòng)傳輸+雙攝像頭對(duì)位,支持8寸晶圓批量處理(≥10片/小時(shí)),±10um定位精度滿足半導(dǎo)體在線檢測(cè)需求,廣泛適用于半導(dǎo)體、LED、太陽能、MEMS、觸控屏、汽車與醫(yī)療設(shè)備等...
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